图4 陶瓷磨削表面显微图

图5 陶瓷磨削表面轮廓形貌

4 结论

1. 金刚石砂轮的平均磨粒尺寸是影响陶瓷磨削表面粗糙度的重要因素。如采用平均磨粒尺寸小于25µm的金刚石砂轮进行磨削，可使陶瓷在塑性模式下进行磨削加工，从而消除表面裂纹缺陷。
2. 陶瓷磨削表面粗糙度是砂轮进给量的关系函数，在塑性模式条件下进行磨削时，表面粗糙度不受切削深度和磨削方向的影响。
3. 采用SD3000-75-B型金刚石砂轮对陶瓷材料进行超精密磨削加工，可获得表面粗糙度值为rms4.15nm、R_a3.07nm的高质量光滑表面。